等離子體內(nèi)部產(chǎn)生富含極高化學(xué)活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團發(fā)生反應(yīng)，轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，從而達到凈化廢氣的目的。適用范圍廣，凈化效率高，尤其適用于其它方法難以處理的多組分惡臭、有機廢氣，設(shè)備占地面積小；電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭、有機廢氣分子作用；運行費用低；反應(yīng)快、停止十分迅速，隨用隨開。但一次性投資費用較高。

低溫等離子體凈化工業(yè)廢氣的工作原理

等離子體中能量的傳遞大致如下：

介質(zhì)阻擋放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過碰撞將能量轉(zhuǎn)化為污染物分子的內(nèi)能或動能，這些獲得能量的分子被激發(fā)或發(fā)生電離形成活性基團，同時空氣中的氧氣和水分在高能電子的作用下也可產(chǎn)生大量的新生態(tài)氫、臭氧和羥基氧等活性基團，這些活性基團相互碰撞后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)。從等離子體的活性基團組成可以看出，等離子體內(nèi)部富含極高化學(xué)活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團發(fā)生反應(yīng)，轉(zhuǎn)化為CO₂和H₂O等物質(zhì)，從而達到凈化廢氣的目的。

從以上反應(yīng)過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到污染物分子中去，那些獲得能量的污染物分子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團。然后這些活性基團與氧氣、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。

另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質(zhì)俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用。

目前除臭技術(shù)中的臭氧氧化法由于氧化勢能較低，對復(fù)雜的廢氣基本不起作用，同時臭氧只有氧化作用，對分子結(jié)構(gòu)不能產(chǎn)生破壞性的作用，而等離子體幾乎能將所有廢氣成分從分子結(jié)構(gòu)上直接破壞，裂解，氧化及相互反應(yīng)，形成穩(wěn)定的分子，如CO₂和H₂O等。特種光量子技術(shù)是近幾年較常見的技術(shù)之一，原理是利用惡臭物質(zhì)對光子的吸收而發(fā)生分解，同時反應(yīng)過程產(chǎn)生的微量的羥基自由基、活性氧等基團也能參與氧化反應(yīng)，從而達到降解惡臭物質(zhì)的目的，對于臭氣濃度比較高，成分復(fù)雜，不能吸收光子的物質(zhì)幾乎沒有效果，然而等離子體對廢氣成分沒有選擇性，而且能量極高，幾乎所有的污染物分子都能從分子結(jié)構(gòu)上被破壞，從而得到凈化。另外一種常見的除臭技術(shù)是催化氧化，原理是在一定溫度和壓力條件下，利用催化劑加快強氧化劑對污染物分子的氧化，從而達到除臭目的，這種方法適用于較為干凈（無顆粒物，顆粒物存在會附著在催化劑表面使催化劑中毒而失效）和分子結(jié)構(gòu)較為簡單的污染物的凈化。

低溫等離子體技術(shù)特點

1)介質(zhì)阻擋放電產(chǎn)生的低溫等離子體中，粒子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。

2)能量高，反應(yīng)快。

3)采用防腐蝕材料，電極與廢氣不直接接觸，根本上解決了設(shè)備腐蝕問題。

4)只需用電，操作極為簡單，無需派專職人員看守，基本不占用人工費。

5)設(shè)備啟動、停止十分迅速，隨用隨開。

6)氣阻小，工藝成熟。

7)同樣適用于含塵氣體。

8)適用溫度范圍廣。

9)適用氣量范圍廣，單臺設(shè)備可達到80000m3/h的處理量。